温泉蚀刻工艺指通过曝光制版、显影后,将要蚀刻区域的保护膜去除,在蚀刻工艺时接触化学溶液,达到溶解腐蚀的作用,形成凹凸或者镂空成型的效果。蚀刻工艺技术属于感光化学技术领域,是用光刻腐蚀加工薄形精密金属制品的一种方法。
蚀刻工艺化学反应过程中所产生的气泡常会造成蚀刻的不均匀性,气泡留滞于基材上阻止了蚀刻溶液与待蚀刻物表面的接触,将使得蚀刻速率变慢或停滞,直到气泡离开基材表面。因此在这种情况下会在溶液中加入一些催化剂增进蚀刻溶液与待蚀刻物表面的接触,并在蚀刻过程中予于搅动以加速气泡的脱离。蚀刻工艺技术广泛应用于集成电路、荧光显示屏、精确过滤、微电极等方面。
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