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正阳蚀刻工艺蚀刻液的最优化原则

时间:2016-08-22 10:04:58   来源:   作者:   点击:33578次

  正阳蚀刻工艺对金属的蚀刻液来讲,一方面这些原电池的存在,使金属表面存在着电位差,电位正的地方得到暂时的保护,电位负的地方被优先蚀刻。另一方面在零件表面具有变化着的原子间距,而且原子间距较宽的地方溶解迅速,一直到显示出不平整的表面为止。

  蚀刻液使用一段时间后,金属离子或其他杂质离子会逐渐增多,当达到一定浓度时,就会明显影响蚀刻速度和蚀刻质量。即便是通过分析添加蚀刻液中的各种成分都不能得到改善,这时就要对蚀刻机中的药水进行大调。根据蚀刻液种类的不同,大调的方式有较大差别,但其最终方法都离不开全部或部分弃掉蚀刻液,再重新添加新配置的蚀刻液。

  蚀刻速度和蚀刻表面质量是蚀刻液对金属蚀刻的主要功能。除腐蚀剂以外,金属离子浓度和杂质浓度是影响这两个指标的唯一因素。蚀刻机中金属离子浓度低,会影响到蚀刻后的表面质量,但随着蚀刻的进行,蚀刻机中金属离子浓度会越来越高,当达到某一浓度后,就会严重影响到蚀刻速度和蚀刻质量。这些影响主要表现为:蚀刻速度变慢,甚至难于进行蚀刻,表面粗糙度增高。且由金属离子浓度过高所引起的质量问题并不能通过简单的调节就能解决,只能采取弃掉部分或全部蚀刻液的方法,蚀刻液的弃掉就意味着生产成本的增加。

  显然,确定一个金属离子在蚀刻机中的浓度上限值是很重要的。这个上限值的确定与要求的蚀刻平面平滑度及蚀刻速度有关。蚀刻速度的降低必然导致生产周期的延长,在相同工作量的情况下,加工零件数量减少。表面平滑度的降低必然导致被蚀刻后的表面质量降低。从这两方面可以看出其最终结果都是总效益的降低。如果由此以保持低浓度的金属离子为代价进行加工,又会使在加工周期和产品质量保持相对恒定的情况下,造成生产成本上升。这就需要化学蚀刻工程师根据用户对表面质量要求的最低限度,以及平均加工量和现有加工能力,来确定这个最佳值。这个值就是金属离子浓度的最优质量水平,这对于专业厂来说是非常重要的。

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